影像三次元測量儀作為精密測量儀器的一種。保養是三次元使用過程中必有的一個課程，對影像三次元測量儀進行正確的保養，不僅可以保證測量儀的測量精度，而且可以適當的延長測量儀的使用壽命。對影像三次元測量儀的保養，從實質上來說，就是對測量儀每個部件進行保養。

影像三次元測量儀的傳動部分，分為干磨擦部分及潤滑部分，干磨擦部分又有氣浮軸承及無牙絲桿傳動機構之區分，在測量中要注意保養。
影像三次元測量儀的保養步驟：

1. 先用干細棉布或擦拭紙擦拭磨擦表面，以擦拭其灰塵或油污等。

2. 也可使用吹氣壺，將灰塵吹掉。

3. 必要時，可再用干凈細干棉布沾上工業用酒精或高級潤滑油，擦拭磨擦表面。

影像三次元測量儀潤滑部分保養步驟：

1. 先用細棉布將灰塵擦拭干凈。

2. 潤滑部分再加入潤滑機油、或由黃油槍加入。