?三坐標測量儀（CMM，Coordinate Measuring Machine）是一種基于空間三維坐標測量原理的高精度測量設備。它的主要組成部分包括主機、測頭系統和計算機控制系統。三坐標測量儀維修保養方法包括以下幾個步驟：
1、每天工作前清潔：使用干凈、不掉纖維的高支紗布浸透99％純度工業無水乙醇清潔空氣軸承導軌滑動通道的所有裸露表面，清潔工作臺面和用于校準的探針頭和標準球表面。每一周用酒精擦拭一次防塵罩下的氣浮軸承導軌面，除去防塵罩上的灰塵。

2、觀察測量室內的溫度和濕度：保證其在廠家要求的范圍內，做好每日溫濕度控制圖記錄。在長時間沒有使用三坐標測量機時，在開機前應做好準備工作。

3、檢查機床氣源和供氣裝置：放水放油，定期清洗過濾器及油水分離器。檢查供氣裝置是否松動或損壞，測量機的外罩是否松動或損壞。

4、定期給光桿、絲桿、齒條上少量防銹油。

5、開機前檢查電源：配置穩壓電源，定期檢查接地，接地電阻小于4歐姆。