三次元測量儀器主要是指通過三維取點來進行測量的一種儀器，市場上也有叫三坐標，三坐標測量機，三維坐標測量儀，三次元。

一般區分為滾珠線性滑軌及氣浮滑軌兩種，滾珠線性滑軌的干涉及變形較大，比較少使用在大型機臺；現今的主流為氣浮滑軌，其原理為壓縮空氣在空氣軸承與軌道間形成一個幾微米 ( um ) 低摩擦力及低阻力的空氣層，也就是說空氣軸承會浮在軌道上，這時便可輕易移動。

傳動方式分手動、馬達傳動兩種。一般有三種機型區分：
1、手動量測　直接拉著Z軸或人工旋轉手輪來移動。
2、電控量測　移動軸安裝馬達，利用搖桿或電子手輪來控制移動。
3、CNC ( DCC) 自動量測　移動軸均安裝伺服馬達，并利用電控系統，在程式指令下可自動量測。