三次元檢測設備主要指通過三維點進行測量的儀器。市面上也有三維儀器，比如三維坐標測量機，三維坐標測量機，三維一。三次元檢測設備廣泛應用于汽車、電子、五金、塑膠、模具等行業中，可以對工件的尺寸、形狀和形位公差進行精密檢測，從而完成零件檢測、外形測量、過程控制等任務。
三次元檢測設備主要原理是:通過將被測物體放置在三維測量空間中，可以得到被測物體上各測量點的坐標位置。根據這些點的空間坐標值，可以計算出被測物體的幾何尺寸、形狀和位置。其基本原理是通過檢測傳感器(探頭)的配合和測量空間的軸向移動，獲得被測幾何要素的離散空間點位置，然后通過一定的數學計算完成對被測點(點群)的分析和擬合，最后還原出被測幾何要素，并在此基礎上計算出它們與理論值(標稱值)的偏差，從而完成對被測零件的檢驗。

大部分三次元檢測設備結構使用精密花崗巖作為平臺，較好的三次元檢測設備結構會使用00級或以上的花崗巖。軸的材質大部分是花崗巖，部分型號會使用鋁合金或鑄鐵，更高配的型號會使用碳纖維、陶瓷或其他復合材料。常見的外部結構有龍門式(或移動橋式)，其他常見的有單側橋式(或L橋式)、雙側橋式、懸臂式等。