?三次元儀器之三次元測量儀一般區分為滾珠線性滑軌及氣浮滑軌兩種，滾珠線性滑軌的干涉及變形較大，比較少使用在大型機臺；現今的主流為氣浮滑軌，其原理為壓縮空氣在空氣軸承與軌道間形成一個幾微米 ( um ) 低摩擦力及低阻力的空氣層，也就是說空氣軸承會浮在軌道上，這時便可輕易移動。
傳動方式分手動、馬達傳動兩種。一般有三種機型區分：
1. 手動量測　直接拉著Z軸或人工旋轉手輪來移動。
2. 電控量測　移動軸安裝馬達，利用搖桿或電子手輪來控制移動。
3. CNC ( DCC) 自動量測　移動軸均安裝伺服馬達，并利用電控系統，在程式指令下可自動量測。