蔡司三次元測量儀屬于高精度測量儀器，其測量精度受多種情況影響。越來越多的廠家在生產中使用三坐標測量儀，在要求精密測量的過程中，但也會有很多因素會在測量過程中產生誤差。一般三坐標測量儀在測量過程中出現誤差有以下幾種原因。
1、三坐標本身誤差
由于三坐標測量儀本身及其附件所引入，出于儀器的電氣或機械性能不完善所產生的誤差。比如：電橋中的標準電阻，示波器的探極線等都含有誤差。儀器，儀表的零位偏移，刻度不準確，以及非線性等引起的誤差均屬于儀器誤差。
2、人為誤差
在三次元測量儀使用過程中肯定是需要人為的控制的，可是人不可避免會有一些的操作誤差，特別是在使用手動型三坐標測量儀時，因為測量過程需要人工的手動移動，難免會有些誤差。而且這個誤差與操作人員的熟練程度有很大的影響。
3、壞境誤差
由濕度、溫度、氣壓、聲音、震動、光、放射性等影響所造成的誤差。
4、操作誤差
使用蔡司三次元測量儀過程中，因安裝、調節、布置、使用方法不對而導致的誤差。
5、方法誤差
由于對三次元測量儀的測量理論掌握不熟練，導致一些測量方法用的不正確也可能造成誤差。
所以，我們在使用
蔡司三次元測量儀的過程中，注意以上五個方面，盡量減少三坐標測量儀的測量誤差，從而確保其測量精度。
